SEmiconductor SEnsor Simulation

1st Industry-University-Workshop on Numerical Modelling and Simulation of Sensors

• Kapazitive Sensoren, Dipl.-Ing. J.G. Korvink
• Thermoelektrische Effekte in Halbleiter-Devices, Dipl.-Ing. K. Kells
• Magnetischer Flusskonzentrator für Hall Sensoren, Dipl.-Ing. H. Lechner
• Vertical Hall Sensoren, Dr. M. Roos
• Simulation von Magnetfeld-Sensoren, Dr. J.F. Buergler
• Teilnehmerthema: Hahn-Schickard-Institut, VS-Villingen, Deutschland: Entwurf und Auslegung mikromechanischer Strukturen, Dipl.-Phys. Thomas Fabula
• HW/SW-Infrastruktur für Simulationen am Beispiel eines horizontalen Hallsensors, Dipl.-Phys. G. Sartoris
• Optisch ausgelesener Drucksensor, Dr. M. Roos

• ETH – Swiss Federal Institute of Technology - https://ethz.ch/
• NM – Numerical Modelling GmbH - http://www.nmtec.ch/
• L&G – Landis and Gyr Technology Innovation Management - https://www.landisgyr.de/

• Die Methode der Finiten Elemente, Dr. H. Ungericht
• Funktionsweise von SESES, Dipl.-Phys. G. Sartoris
• Problembeschreibung, Initial-, Bulk-Files, Dipl.-Ing. J. Korvink
• Übung I : Lineare Probleme
• SESES Algorithmen, Dr. H. Schwarzenbach
• Problemlösung Beispiel Wärmeleitung, Dr. M. Roos
• Übung II : Nichtlineare Probleme
• Problemlösung Beispiel Halbleiterproblem, Dipl.-Phys. G. Sartoris
• Übung III : Nichtlineare Probleme

• A micro electro mechanical CAD extension for SESES, H U Schwarzenbach et al 1993 J. Micromech. Microeng. 3 118, https://iopscience.iop.org/article/10.1088/0960-1317/3/3/006/pdf
• An implementation of the adaptive finite element method for semiconductor sensor simulation, Korvink, Jan Gerrit; Baltes, Henry (1993), Doctoral Thesis, ETH Zürich Bibliographie, DOI: www.research-collection.ethz.ch/handle/20.500.11850/141261
• Multiphysics Software SESES, Manual & Tutorial: www.zhaw.ch/de/engineering/institute-zentren/icp/multiphysik-modellierung/seses/

https://tfconsult.com/entwurf-und-auslegung-mikromechanischer-strukturen/